EUV光源是整个EUV🇲🇹最难做的部分之一，工具越强，人反。
可能性来自于🐰：华为已经🇷🇺掌握了EU📔V光源等关键技🧥🗞术，华为的工🇹🇱。
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EUV光源是整个EUV🇲🇹最难做的部分之一，工具越强，人反。
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